SE50A-ECO 300SS/300SF/300SFE/300DF/300DFE System

SE50A-ECO 300 series 是由 Systems Engineering 開發的先進半導體應用傅立葉紅外光譜儀（FT-IR），專為 300mm 晶圓檢測設計。它結合尖端技術與全自動化系統，提供高精度的晶圓外延厚度測量和材料分析。此儀器使用 ThermoFisher Scientific 的 Nicolet iG50 紅外光譜技術，Robot: JEL  /Load port: TDK。所有功能都由電腦精確控制，支援自動設置測量點、光束尺寸調整、測量模式切換（透射與反射）等。SE50A-ECO 300 還具備直觀的圖形介面，支持最多 500 分析點的自動測量，適用於半導體製程中的複雜分析，如外延厚度測量(EPI)。矽中的碳與氧濃度測量（符合 ASTM 標準）。PSG/BPSG 薄膜中的硼和磷含量測量（濃度精確度 ±0.05 wt%）。氮化矽中的氫含量測量（總氫精確度 ±0.3 atoms%）。SiO2 薄膜中的氟含量分析（FSG 標準偏差 ≦ 0.2 Fwt%）等。其設計著重於操作效率和測量精度，為半導體材料檢測提供卓越的分析方法。