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商品明細
SE50A-ECO 300SS/300SF/300SFE/300DF/300DFE System
料號:SE50A-ECO-300
外延厚度測量。矽中的碳與氧濃度測量。PSG/BPSG 薄膜中的硼和磷含量測量。 氮化矽中的氫含量測量。 SiO2 薄膜中的氟含量分析。
商品詳細介紹
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訂購資訊
SE50A-ECO 300 series 是由 Systems Engineering 開發的先進半導體應用傅立葉紅外光譜儀(FT-IR),專為 300mm 晶圓檢測設計。它結合尖端技術與全自動化系統,提供高精度的晶圓外延厚度測量和材料分析。此儀器使用 ThermoFisher Scientific 的 Nicolet iG50 紅外光譜技術,Robot: JEL /Load port: TDK。所有功能都由電腦精確控制,支援自動設置測量點、光束尺寸調整、測量模式切換(透射與反射)等。SE50A-ECO 300 還具備直觀的圖形介面,支持最多 500 分析點的自動測量,適用於半導體製程中的複雜分析,如外延厚度測量(EPI)。矽中的碳與氧濃度測量(符合 ASTM 標準)。PSG/BPSG 薄膜中的硼和磷含量測量(濃度精確度 ±0.05 wt%)。氮化矽中的氫含量測量(總氫精確度 ±0.3 atoms%)。SiO2 薄膜中的氟含量分析(FSG 標準偏差 ≦ 0.2 Fwt%)等。其設計著重於操作效率和測量精度,為半導體材料檢測提供卓越的分析方法。
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